В таблице 1 в качестве примера взят вольфрамовый стержень, и сравнивается износ инструмента при токарной обработке вольфрамовых стержней различной твердости. Из таблицы 1 видно, что в том же испытании на точение с увеличением твердости вольфрамового стержня значительно увеличивается и износ инструмента. Следовательно, при условии обеспечения плотности твердость вольфрамового материала следует контролировать с помощью подходящего производственного процесса, так что последующая обработка вольфрамового материала будет очень необходимой.
Таблица 1 Испытание на точение вольфрамовых стержней различной твердости
Твердость вольфрамового стержня HV30 |
460 |
426 |
396 |
фотографии повреждений ножом |
|||
Значение потери инструмента/мкм |
0.042 |
0.019 |
0. 009 |
Условия испытаний |
① Вольфрамовый стержень: диаметр φ 15,8 мм, полированная поверхность; ②Инструмент: специальная вставка для токарной обработки вольфрамового стержня; ③Примечания: Для выполнения используйте то же оборудование, того же оператора и те же параметры процесса. |
Таким образом, в сочетании с характеристиками твердости вольфрамовой пластины и вольфрамового стержня, а также с техническими требованиями клиента и фактическим уровнем отрасли определяется твердость вольфрамового материала для ионных имплантатов, и должны быть соблюдены следующие требования. встретились:
Таблица 2 Требования к твердости вольфрамовой пластины для ионного имплантера
Толщина/мм |
Плотность/HV30 |
>1~10 |
> 330~480 |
> 10~26 |
> 330~460 |
Таблица 3 Требования к твердости вольфрамового стержня для установки для ионной имплантации
Диаметр /мм |
Плотность/HV30 |
>1~10 |
> 350-500 |
> 10~26 |
> 350-480 |
http://ru.mtionsource.com/